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  • 蓝宝石清洗机

设备名称:龙门单臂自动超声波清洗机

设备型号:fwa-3040tkc
清洗对象:蓝宝石基片
使用厂家:福建晶安光电



龙门单臂自动超声波清洗机,蓝宝石基片清洗机

 清洗工艺:

工序方法

清洗方式

清洗时间

清洗液

加热功率

过滤

进水

排水

缸盖

抛动

1

进料

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

超声波清洗

120khz / 2kw

5~10min

清洗剂

6kw

自动

手动

/

3

喷淋漂洗

喷淋

5~10min

纯水

6kw

自动

手动

 

4

浸泡出料

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3.1进料→超声波漂洗(120khz)→喷淋漂洗→浸泡出料

3.2 清洗目的:去除工件加工过程中残留的油污及粉屑

3.3清洗介质:水脱脂剂

3.4清洗对象:晶圆

3.5 清洗能力:5-10min可清洗450片晶圆,即18只花篮。

用户已将晶园摆放在花篮内,花篮规格为:70×125×70mm,每个花篮装载25片晶圆。

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